| 摘要 |
본 발명은 기판 처리 장치에서 부생성물의 퇴적을 억제한다. 처리 가스를 공급하는 처리 가스 공급계와, 불활성 가스를 공급하는 불활성 가스 공급계와, 처리 용기의 개구부를 기밀하게 폐색하는 씰 캡을 포함하는 기판 처리 장치로서, 불활성 가스 공급계는 씰 캡 중앙부의 제1 분출부에 불활성 가스를 공급하는 제1 공급관; 상기 개구부 측의 단부의 내벽면과 대향하는 위치의 제2 분출부에 불활성 가스를 공급하는 제2 공급관; 제1 및 제2 공급관에 접속된 제3 공급관에 설치된 유량 제어기; 및 제1 및 제2 공급관의 적어도 일방에 설치되고 가스가 흐르는 유로를 교축하는 교축부;를 포함하고, 처리 용기 내에 처리 가스를 공급할 때, 유량 제어기로 유량 제어한 불활성 가스를 제3 공급관으로부터 제1 및 제2 공급관에 공급하고, 제1 공급관의 불활성 가스를 제1 분출부로부터 처리 용기 내에 분출시키고, 제2 공급관의 불활성 가스를 제2 분출부로부터 상기 내벽면을 향해 분출시킨다. |
