| 摘要 |
본 발명은 스테이지와 스캐너의 동기화 방법에 관한 것이다. 본 발명은 설정 피드가 설정되고, 가공 경로를 복수 개의 이산 분포된 점으로 구분하고, 그 중 인접한 제1점과 제2점으로 초기 블록을 설정하는 제1단계; 상기 초기 블록의 이동거리를 산출하는 제2단계; 상기 초기 블록의 실제 피드를 산출하는 제3단계; 상기 초기 블록이 미소 블록인지를 판단하는 제4단계; 및 상기 제4단계에서 미소 블록이라고 판단되면, 상기 제2점에 인접한 제3점과 상기 제1점으로 다음 블록을 설정하고, 상기 제1단계가 재수행되는 제5단계;를 포함하는 스테이지와 스캐너의 동기화 방법을 제공한다. 따라서, 본 발명에 의하면 스테이지의 이동 경로 변화가 줄어들어, 스테이지의 제어가 용이하다. |
