折射率测量方法、测量装置和光学元件制造方法

摘要

本发明涉及折射率测量方法、测量装置和光学元件制造方法。以高精度测量测试对象的相位折射率。通过将来自光源的光分为参照光束和测试光束并引起参照光束和透过测试对象的测试光束之间的干涉来测量参照光束和测试光束之间的相位差。通过基于参照对象的相位折射率相对于波长的斜率计算与相位差中包括的2π的整数倍对应的值来计算测试对象的相位折射率。

主权项

一种测量方法，其特征在于，包括：通过将来自光源的光分成参照光束和测试光束并且引起参照光束和透过测试对象的测试光束之间的干涉，在多个波长处测量参照光束和测试光束之间的相位差；以及通过基于参照对象的已知的相位折射率相对于波长的斜率计算与相位差中包括的2π的整数倍对应的值，计算测试对象的相位折射率。