| 发明名称 | 依靠激光结晶设施的Mura量化系统与依靠激光结晶设施的Mura量化方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及Mura量化系统与方法，即，依靠包括激光结晶装置的激光结晶设施的Mura量化系统，其中Mura量化装置设置在激光结晶设施中使得通过激光结晶装置使基板结晶并且当移动结晶基板时实时量化Mura；以及依靠激光结晶设施的Mura量化方法。 | ||
| 申请公布号 | CN106252259A | 申请公布日期 | 2016.12.21 |
| 申请号 | CN201610404682.1 | 申请日期 | 2016.06.08 |
| 申请人 | AP系统股份有限公司 | 发明人 | 苏二彬;赵珉煐;赵相熙;金贤中;金成桓 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;H01L21/268(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人 | 杨生平;王瑞朋 |
| 主权项 | 一种依靠包括激光结晶装置的激光结晶设施的Mura量化系统，其中，所述Mura量化装置设置在所述激光结晶设施中，使得通过所述激光结晶装置使基板结晶并且当结晶基板移动时实时进行Mura量化。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道华城市 | ||