发明名称 一种用于清洗Source的支架
摘要 一种用于清洗Source的支架,包括镓舟支撑件、进气管固定件和滑轨,所述镓舟支撑件包括镓舟支撑横梁和与该镓舟支撑横梁连接的镓舟支撑包覆层,所述镓舟支撑横梁安装在滑轨上,所述进气管固定件通过进气管横梁安装在滑轨上。所述镓舟支撑件还包括至少一根镓舟支撑带,该镓舟支撑带上端与镓舟支撑横梁连接、下端与镓舟支撑包覆层连接。本发明实现了Source安全地被固定与支撑,避免安全事故的发生;Source置于清洗剂中的高度可调且能高度保持,更有利于Source的清洗工作。
申请公布号 CN106238414A 申请公布日期 2016.12.21
申请号 CN201610611552.5 申请日期 2016.07.30
申请人 东莞市中镓半导体科技有限公司 发明人 陈志华;陈蛟;刘南柳
分类号 B08B9/027(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I 主分类号 B08B9/027(2006.01)I
代理机构 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人 罗晓林
主权项  一种用于清洗Source的支架,其特征在于, 包括镓舟支撑件(21)、进气管固定件(22)和滑轨(23),所述镓舟支撑件(21)包括镓舟支撑横梁(211)和与该镓舟支撑横梁(211)连接的镓舟支撑包覆层(213),所述镓舟支撑横梁(211)安装在滑轨(23)上,所述进气管固定件(22)通过进气管横梁安装在滑轨(23)上。
地址 523000 广东省东莞市企石镇东平科技工业园