用于正交导轨平台的垂直度误差测量方法

摘要

本发明公开了一种用于正交导轨平台的垂直度误差测量方法，步骤包括通过被测量正交导轨平台的X轴滑轨的X轴滑块上放置光学方砖并依次按照指定角度翻转光学方砖使得光学方砖的每一个柱面分别支承在X轴滑块上，检测光学方砖每一个柱面支承在X轴滑块上时光学方砖分别与X轴、Y轴的夹角，一共得到8个夹角；根据式(1)计算被测量正交导轨平台的运动轴XY轴垂直度角。本发明能够大幅提高垂直度测量效率和精度，具有测量误差不受标准件的影响、测量设备通用性好、测量过程操作简便易行、测量对象广泛的优点。

主权项

一种用于正交导轨平台的垂直度误差测量方法，其特征在于步骤包括：1)通过被测量正交导轨平台的X轴滑轨的X轴滑块上放置光学方砖并依次按照指定角度翻转光学方砖使得光学方砖的每一个柱面分别支承在X轴滑块上，检测光学方砖每一个柱面支承在X轴滑块上时光学方砖分别与X轴、Y轴的夹角，一共得到8个夹角；2)根据式(1)计算被测量正交导轨平台的运动轴XY轴垂直度角；$a_{xy}=\frac{2\pi +\underset{k=1}{\overset{8}{\Sigma }}{\gamma }_k}{4}---\left(1\right)$式(1)中，a_xy表示被测量正交导轨平台的运动轴XY轴垂直度角，γ_k表示检测得到的8个夹角中的第k个夹角。