| 摘要 |
진공 층 증착 동안 기판(20)을 유지하기 위한 유지 배열체(10)가 제공된다. 유지 배열체(10)는, 하나 또는 그 초과의 프레임 엘리먼트들을 갖는 프레임; 및 프레임 엘리먼트들 중 하나 또는 그 초과에 제공되고 컨베잉 시스템의 하나 또는 그 초과의 컨베잉 롤러들(60)과 접촉하도록 구성된 하나 또는 그 초과의 접촉 인터페이스들(50, 500)을 포함하며, 하나 또는 그 초과의 접촉 인터페이스들(50, 500)의 재료의 쇼어 D 경도는 85 내지 90의 범위에 있다. |
