| 摘要 |
【課題】 測定対象物に対するＸ線の入射角を任意の角度にしても、その入射角を精度よく検出するＸ線回折測定装置を提供する。【解決手段】 出射Ｘ線と光軸を同一にした平行な可視光を測定対称物ＯＢに照射したまま、フィードモータ２２を駆動させることで移動させる。それぞれの移動位置において、結像レンズ４８と撮像器４９からなるカメラにより撮像を行い、測定対象物ＯＢにおける可視光照射点の撮像器４９における位置を検出し、移動位置ごとに可視光照射点からイメージングプレート１５までの距離ＩＰ−ＯＢを算出する。移動位置と距離ＩＰ−ＯＢから測定対象物ＯＢの表面プロファイルを求め、Ｘ線照射点における接線の傾きを計算することでＸ線の入射角を求める。【選択図】図１ |
