| 摘要 |
본 발명의 기술적 사상에 의한 도어 장치는, 챔버의 전면에 설치되어, 챔버의 출입구를 개방하거나 폐쇄하는 도어 장치로서, 도어 프레임, 개방 위치에서 앞뒤로 정렬되고 폐쇄 위치에서 상하로 정렬되는 제1 도어와 제2 도어를 포함하고, 상기 도어 프레임에 슬라이딩 가능하게 설치되는 도어부, 상기 제1 도어를 상기 제1 도어의 개방 위치와 제1 위치 사이에서 수직 이동시키는 구동부, 상기 제1 도어를 상기 제1 위치와 제2 위치 사이에서 수평 이동시키고, 상기 제2 위치와 상기 제1 도어의 폐쇄 위치 사이에서 수평 이동시키는 제1 구동 실린더부, 전진 동작에 의하여 상기 제2 도어를 제3 위치에 정지시키고, 후진 동작에 의하여 상기 제2 도어를 상기 제2 위치에 위치한 상기 제1 도어 위에 상기 제2 도어가 접촉 지지되는 제4 위치에 위치시키는 제1 스토퍼, 및 상기 제2 도어를 상기 제4 위치와 상기 제2 도어의 폐쇄 위치 사이에서 수평 이동시키는 제2 구동 실린더부를 포함하며, 상기 제2 도어는 상기 제1 도어에 의하여 지지되어 상기 제2 도어의 개방 위치와 제3 위치 사이에서 수직 이동하는 것을 특징으로 한다. |
