发明名称 SYSTEM AND PROCESS FOR SILANE PRODUCTION
摘要 By incorporating an additional TCS and/or DCS redistribution reactor in the TCS recycle loop and/or DCS recycle loop, respectively, of a process and system for silane manufacture, efficiencies in the production of silane are realized.
申请公布号 EP2991930(A4) 申请公布日期 2016.12.21
申请号 EP20140794770 申请日期 2014.05.03
申请人 SiTec GmbH 发明人 DASSEL, Mark, William
分类号 C01B33/04;B01J19/00;C01B33/029;C01B33/107 主分类号 C01B33/04
代理机构 代理人
主权项
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