发明名称 迭片多层厚膜电路的联接工艺
摘要 一种迭片多层厚膜电路的联接工艺及其制备方法,联接过程是:将待联接的厚膜电路膜片的表面印刷S保护釉料;然后在厚膜电路膜片的共对应点上各印刷多个E料块联接;最后将厚膜电路膜片的待联接面迭合在一起并置于匣钵模,于480—520℃烧结20—30分钟。或者联接过程是:在需要电联接的厚膜电路膜片上印刷低温银浆F;再对厚膜电路膜片的表面印刷S保护釉料;然后在厚膜电路膜片的共对应点上各印刷多个E料块联接,最后将厚膜电路膜片的待联接面迭合在一起并置于匣模,并于480—520℃烧结20—30分钟。本发明制备工艺简单、成品率高。
申请公布号 CN106252272A 申请公布日期 2016.12.21
申请号 CN201610893340.0 申请日期 2016.10.13
申请人 珠海市华晶微电子有限公司 发明人 郑锦清;任春祥
分类号 H01L21/70(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I 主分类号 H01L21/70(2006.01)I
代理机构 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 代理人 赵蕊红
主权项 一种迭片多层厚膜电路的联接工艺,其特征在于,对已经完成多层布线、孔金属化,并完成厚膜元件制作和调整的厚膜电路膜片进行联接;具体联接过程是:在各个厚膜电路膜片的待联接的表面分别印刷S保护釉料;然后在厚膜电路膜片之间的共对应点上各印刷多个E料块联接;最后将各厚膜电路膜片的待联接面迭合在一起并置于匣钵模,于480—520℃烧结20—30分钟;按照重量份计,所述S保护釉料含有如下份数的原料:A:50‑85;B:10‑50;C:30‑50;S保护釉料的制备工艺,包括:按照组成称量组分,并分别置于搅拌式球磨罐中,按料:球=1:2的比例球磨20‑30分钟,取出盛装得到S保护釉料;其中,A为无铅易熔绿色环保玻璃,按照重量百分比计,含有如下份数的原料:SiO<sub>2</sub>:40‑60;TiO<sub>2</sub>:0‑20;ZnO:4‑10;KF:5‑30;脱水硼砂:8‑15;A的制备工艺包括如下步骤:(a1)将原料于110‑120℃下烘干40‑70分钟;(a2)将原材料置于搅拌罐内搅拌混合2‑3分钟,然后取出装入容置匣钵或者坩埚或者直接导入熔制炉膛;(a3)以320‑360℃/小时的升温速度升温至1020‑1120℃,保温35‑45分钟,使玻璃处于低粘度充分混合熔融状态,再取出或开阀使玻璃液冷却或注入水中淬火呈玻璃颗粒;(a4)把冷却的玻璃块或玻璃颗粒置于破碎机粉碎制成粒度不大于3微米的玻璃粉A;其中,B含有如下份数的原料:ZnO:25‑35;Cr<sub>2</sub>O<sub>3</sub>:0‑3;CuO:0‑4;MnO<sub>2</sub>:0‑3;NiO:0‑3;Co<sub>2</sub>O<sub>3</sub>:0‑3;BaCO<sub>3</sub>:4‑6;Al<sub>2</sub>O:0‑10;脱水硼砂:35‑40;B的制备工艺包括如下步骤:将原料置于搅拌式球磨机罐中,按料:锆球:水=1:2:1.2的比例搅拌球磨2.5‑3.5小时至粒度不大于3微米,取出烘干过筛得到B组份;其中,C含有如下份数的原料:甲基纤维素:6‑10;丙三醇:2‑2.5;水:90‑100;C的制备工艺是:按照配比将原料放于容器中,经100℃水浴,并在玻璃棒搅拌下制成胶水;E含有如下份数的原料:D:60‑100;C:35‑45;其中,D含有如下份数的原料:A:65‑85;ZnO:2‑4;KF:0‑8;BaO:0‑3;脱水硼砂:3‑6;D的制备工艺是:按照配比将原料放于球磨罐中,按料:锆球:水=1:2:1.2的比例搅拌球磨3.5‑4.5小时至粒度不大于3微米,取出烘干过筛得到D组份。
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