固体摄像器件及其制造方法和电子设备

摘要

本发明涉及固体摄像器件和固体摄像装置及它们的制造方法及电子设备。所述固体摄像器件具有：传感器基板，其具有像素区域，在所述像素区域上排列有光电转换器；驱动电路，其设置在所述传感器基板的与所述光电转换器的受光面相反的正面侧上；绝缘层，其设置在所述受光面上并且具有阶梯结构，在所述阶梯结构中，所述像素区域的膜厚度比设置在所述像素区域外侧的周边区域的膜厚度薄；配线，其在所述受光面侧设置在所述周边区域中；以及片上透镜，其设置在所述绝缘层上的与所述光电转换器对应的位置处。根据本发明，能够改善光电转换器的光接收性能，并能够改善产出率和器件可靠性，从而提高图像质量。

主权项

一种固体摄像器件，所述固体摄像器件包括：传感器基板，所述传感器基板具有像素区域，在所述像素区域上排列有光电转换器；驱动电路，所述驱动电路设置在所述传感器基板的与所述光电转换器的受光面相反的正面侧上；绝缘层，所述绝缘层设置在所述受光面上并且具有阶梯结构，在所述阶梯结构中，所述像素区域的膜厚度比设置在所述像素区域外侧的周边区域的膜厚度薄；配线，所述配线在所述周边区域中设置成位于所述受光面侧；以及片上透镜，所述片上透镜设置在所述绝缘层上的与所述光电转换器对应的位置处。