| 发明名称 | 晶圆的喷淋结构 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种晶圆的喷淋结构，包括固定安装于机架上的晶圆支撑台及位于晶圆支撑台上方的喷淋头安装板，所述喷淋头安装板上固定安装有多个竖向气缸，所述竖向气缸的活塞杆下端固定安装有喷淋头及测距仪；还包括一控制器，所述测距仪的输出端与控制器的输入端连接，所述控制器的输出端与竖向气缸的行程控制单元连接。本发明采用实时检测喷淋距离，并实时调节，提高喷淋的均匀度。 | ||
| 申请公布号 | CN106252262A | 申请公布日期 | 2016.12.21 |
| 申请号 | CN201610881590.2 | 申请日期 | 2016.10.09 |
| 申请人 | 无锡宏纳科技有限公司 | 发明人 | 吕耀安 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人 | 孙力坚;聂启新 |
| 主权项 | 一种晶圆的喷淋结构，其特征在于：包括固定安装于机架上的晶圆支撑台(1)及位于晶圆支撑台(1)上方的喷淋头安装板(2)，所述喷淋头安装板(2)上固定安装有多个竖向气缸(3)，所述竖向气缸(3)的活塞杆下端固定安装有喷淋头(4)及测距仪(5)；还包括一控制器，所述测距仪(5)的输出端与控制器的输入端连接，所述控制器的输出端与竖向气缸(3)的行程控制单元连接。 | ||
| 地址 | 214000 江苏省无锡市新区清源路20号太湖国际科技园传感网大学科技园立业楼D区一楼 | ||