| 发明名称 | 电化学镀铜洗边装置以及电化学镀铜洗边方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种电化学镀铜洗边装置以及电化学镀铜洗边方法。本发明的电化学镀铜洗边装置包括：用于抓住晶圆的侧面的多个垂直夹具、布置在晶圆侧边的喷嘴、以及与喷嘴连接的洗边溶液供给装置；其中，垂直夹具具有中间镂空结构，使得垂直夹具与晶圆的侧面接触的区域为中间镂空结构的边框部分。本发明采用具有合适强度的材料，改善垂直夹具的结构，将其做成中间镂空的结构；以减小垂直夹具与晶圆接触的面积，从而减少当洗边溶液经过时垂直夹具对洗边溶液的回弹量。由此，本发明在保证洗边效果的前提下，提出了一种可提高洗边宽度均匀性的方案，有效提高晶圆边缘芯片的质量，从而提高良率，减少经济损失。 | ||
| 申请公布号 | CN106252261A | 申请公布日期 | 2016.12.21 |
| 申请号 | CN201610790760.6 | 申请日期 | 2016.08.31 |
| 申请人 | 上海华力微电子有限公司 | 发明人 | 曹玉荣;张守龙;赵正元;李虎 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 智云 |
| 主权项 | 一种电化学镀铜洗边装置，其特征在于包括：用于抓住晶圆的侧面的多个垂直夹具、布置在晶圆侧边的喷嘴、以及与喷嘴连接的洗边溶液供给装置；其中，垂直夹具具有中间镂空结构，使得垂直夹具与晶圆的侧面接触的区域为中间镂空结构的边框部分。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号 | ||