| 摘要 |
잉크젯 방식의 전자 디바이스를 제조할 때의 잉크액 도포 공정에 있어서, 전자 디바이스 기재에 잉크액을 토출하기 전에, 잉크젯 헤드(2)를 주사시켜 수사용 고투과도 테스트 필름(3)에 잉크액을 토출시켜 검사용 패턴(7)을 형성한다. 테스트 필름(3) 아래에는, 잉크젯 헤드(2)의 주사 방향과 직교 방향으로 이동 가능한 촬상용 카메라(4)와 조명(5)을 설치하고, 촬상용 카메라(4)를 잉크젯 헤드의 노즐열에 대하여 평행 방향으로 이동시키면서 검사용 패턴(7)을 촬상한다. 촬상용 카메라(4)로 취득한 검사용 패턴(7)의 화상 데이터를 화상 데이터 처리 장치(21)로 전송하고, 검사 처리부(24)에서 잉크액 토출 불량을 검사한다. |
