| 发明名称 | UV固化装置 | ||
| 摘要 | UV固化装置包括处理室、设置在处理室上方的UV光源、设置在处理室和UV光源之间用以允许来自UV光源的UV光穿过且进入处理室的窗、设置在处理室和窗之间用以密封处理室的密封环、和设置在UV光源和密封环之间用以防止密封环暴露给UV光的光遮蔽装备。因此，密封环没有直接暴露给UV光，并且橡胶密封环的粘合不会被损坏。本发明还提供了UV固化方法。 | ||
| 申请公布号 | CN106252255A | 申请公布日期 | 2016.12.21 |
| 申请号 | CN201510798934.9 | 申请日期 | 2015.11.18 |
| 申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 倪学光;陈纪任;洪鹏程 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人 | 章社杲;李伟 |
| 主权项 | 一种UV固化装置，包括：处理室；UV光源，设置在所述处理室上方；窗，设置在所述处理室和所述UV光源之间用以允许来自所述UV光源的UV光穿过且进入所述处理室；密封环，设置在所述处理室和所述窗之间用以密封所述处理室；以及光遮蔽装备，设置在所述UV光源和所述密封环之间用以防止所述密封环暴露给所述UV光。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹 | ||