用于光束转向的具有多个换能器的声光偏转器

摘要

描述了具有多个声换能器的声光偏转器，其适于用在基板处理中。在一个示例中，一种方法包括传输光束穿过声光偏转器，施加跨声光偏转器的多个换能器具有相位延迟的声信号，以便通过声光偏转器使光束沿着第一轴偏转，并且将经偏转的光束导引至工件上。

主权项

一种将光束导引至工件的方法，所述方法包括：传输光束穿过声光偏转器；施加跨所述声光偏转器的多个换能器具有相位延迟的声信号，以便通过所述声光偏转器使所述光束沿着第一轴偏转；以及将经偏转的光束导引至工件上。