| 摘要 |
주사 탐침 현미경(SPM) 시스템 및 관련 방법에 관한 것으로, 주사 탐침 현미경 시스템은, 상기 샘플의 나노스케일 피쳐들과 상호 작용하고 타겟 영역을 스캐닝하여 상기 타겟 영역의 3차원 영상을 구현하기 위하여 적용된 프로브를 포함하고, 상기 스템은 샘플-특정 좌표계에 따라 상기 샘플의 이격된 영역에서 복수의 관심 피쳐들 각각에 대한 위치 정보를 유지하고, 여기서, 상기 SPM 시스템은, SPM 좌표계에 따라 샘플에 대한 프로브의 포지셔닝을 조절하기 위하여 구비되며, 상기 SPM 시스템은 샘플-특정 좌표계 및 SPM 좌표계사이의 일련의 정렬 에러를 결정하여 상기 SPM 좌표계에 보정을 가하여 상기 정렬 에러를 상쇄시키도록 구비됨으로서 샘플-특정 좌표계 및 상기 SPM 좌표계 사이의 동적 관계를 조절한다. |
