一种基于变频干涉原理的飞秒激光测长装置及方法

摘要

本发明涉及一种基于变频干涉原理的飞秒激光测长装置及方法，属于长度测量技术领域。本发明包括重复频率可以控制的飞秒激光频率梳、偏振片、折光镜、偏振分光镜、精密位移平台、参考反射镜等，使用可同时微调飞秒激光频率梳脉冲重复频率的方法和参考臂调节方法获得空间相干重叠条件，无须控制和要求节距变化个数增量，通过不同的互质重复频率下的空间相干重叠测量结果，以解包含测量臂长和节距的不定方程整数解的方式获得节距个数，从而达到距离测量目的。

主权项

一种基于变频干涉原理的飞秒激光测长装置，其特征在于：包括重复频率可以控制的飞秒激光频率梳、偏振片、折光镜、偏振分光镜、精密位移平台、参考反射镜、测量物镜、光电探测器、数据采集系统以及计算机；飞秒激光频率梳用于产生重复频率f_req的飞秒激光，偏振片用于调整激光偏振方向，折光镜用于进行反射测量光；偏振分光镜将飞秒激光一分为二，分别去往参考臂和测量臂，精密位移平台用于微调参考臂的臂长，参考镜为将参考臂的参考光反射回去，测量物镜用于将照射到测量臂上待测目标的测量光反射回去，光电探测器，用于将光信号变成电信号，并根据其信号的强弱判定是否出于最佳相干重叠状态；数据采集系统用于测量光电探测器的信号并将其传给计算机；计算机用于计算飞秒激光的节距以及求解节距个数，并给出距离测量结果。