一种背面软损伤机用硅片分流机构

摘要

一种背面软损伤机用硅片分流机构，包括导流底板，导流底板的两侧设置有限制硅片脱离导流底板的侧挡板，从而在导流底板上形成引导硅片的导流通道，在导流通道内设置有可转动的硅片分流臂，从而将硅片引导分流至导流通道出口端两侧设置的两个硅片盒内，所述硅片分流臂的一端通过转接轴定在转动轴上，硅片分流臂上表面设置有配重块，硅片分流臂下表面设有若干突起，突起卡扣在导流底板上的轨迹槽内。配重块的使用增强了分流臂与倒流底板的贴合性，防止硅片卡在硅片分流臂与导流底板之间，避免了硅片进如导流通道后造成的叠加、擦伤，提高了产品质量。

主权项

一种背面软损伤机用硅片分流机构，包括导流底板（1），导流底板（1）的两侧设置有限制硅片脱离导流底板（1）的侧挡板（2），从而在导流底板（1）上形成引导硅片的导流通道，在导流通道内设置有可转动的硅片分流臂（3），从而将硅片引导分流至导流通道出口端两侧设置的两个硅片盒（4）内，其特征在于：所述硅片分流臂（3）的一端通过转接轴（5）固定在转动轴上，硅片分流臂（3）上表面设置有配重块（7），硅片分流臂（3）下表面设有若干突起（10），突起（10）卡扣在导流底板（1）上的轨迹槽（11）内。