发明名称 |
用于直接成像的系统和方法 |
摘要 |
一种直接成像系统包括:照明单元,包括多个光源,所述多个光源被配置为发射多个波束;光学系统,用于形成要以位置或角度对准的多个波束;声光调制器,被定位为接收以位置或角度之一对准的多个波束,并且当声波在声方向中传播时,相继地对所述多个波束的不同部分进行衍射;以及扫描元件,适于以扫描速度、利用该声光调制器所调制的多个波束来扫描曝光表面,其中将该扫描速度选择为将所述多个波束的不同部分不相干地联合为单一曝光焦斑。 |
申请公布号 |
CN102955252B |
申请公布日期 |
2016.12.21 |
申请号 |
CN201210292389.2 |
申请日期 |
2012.08.16 |
申请人 |
奥博泰克有限公司;激光影像系统两合公司 |
发明人 |
S.海涅曼;W.雷彻克;H.瓦格纳;J.伯格夫;A.格罗斯 |
分类号 |
G02B26/12(2006.01)I |
主分类号 |
G02B26/12(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
张银英 |
主权项 |
一种直接成像系统,包括:照明单元,包括多个光源,所述多个光源被配置为发射多个波束;光学系统,用于形成要以位置或角度对准的所述多个波束;声光调制器,被定位为接收以位置或角度之一对准的多个波束,并且当声波在声方向中传播时,相继地对所述多个波束的不同部分进行衍射;以及扫描元件,适于以扫描速度、利用该声光调制器所调制的多个波束来扫描曝光表面,其中将该扫描速度选择为将所述多个波束的不同部分不相干地联合为单一曝光焦斑,其中,所述多个光源中的每个光源与专用透镜相关联,其中,该专用透镜适于对从光源发射的波束进行成形。 |
地址 |
以色列亚夫内 |