含构造成阻止热解管和相邻元件之间传热的导管的材料处理系统

摘要

批露了一种材料处理系统，其阻止从其热解管到一种或多种相邻元件例如蒸发腔室或沉积腔室的红外辐射传输。这种材料处理系统可包含具有非线性元件的至少一根导管。这种导管的非线性元件可排除穿过导管长度的视线的存在。非线性元件还可具有形状，所述形状使得气体或蒸气在有很少或没有湍流的情况下流动经过所述非线性元件，在其中材料处理系统的部分或全部不含阀门的实施方式中，这可使气体或蒸气自由地流经材料处理系统，或者至少自由地流经材料处理系统的不含阀门的部分。

主权项

一种材料沉积系统，其包含:蒸发器；传输蒸气的导管，其包含与所述蒸发器连通的第一端部,所述传输蒸气的导管从所述蒸发器延伸；热解器，其包含与所述传输蒸气的导管的第二端部连通的第一端部；传输反应性物质的导管，其包含与所述热解器第二端部连通的第一端部；以及沉积腔室，所述沉积腔室与所述传输反应性物质的导管的第二端部连通,所述传输蒸气的导管和所述传输反应性物质的导管中的至少一种包含具有基本上S形形状的非线性元件，所述非线性元件至少部分地排除穿过所述传输蒸气的导管和/或所述传输反应性物质的导管整体长度的视线。