一种用于监控蚀刻液比重变化的传感器

摘要

本实用新型公开了一种用于监控蚀刻液比重变化的传感器，包括壳体、安装在壳体内的监测装置和浮球；监测装置包括两组弹簧、用于安装弹簧的支架和用于固定弹簧的弹簧限位固定架；每组弹簧呈竖直方向排列，通过光源连接板连接；支架底部设有用于感应弹簧变形并产生位置信号的信号发生部件，该信号发生部件连接外部控制设备；光源连接板外连接浮球，随着蚀刻液的比重变化，浮球受到的浮力发生变化，使弹簧发生变形，信号发生部件感应弹簧的变形，产生位置信号。本实用新型通过弹簧产生位能变化来监测蚀刻液的比重变化，进而控制蚀刻液的比重，具有稳定性好，控制进度高等优点；弹簧形变线性更好，长时间使用零点不漂移，不需要二次校正。

主权项

一种用于监控蚀刻液比重变化的传感器，其特征在于：包括壳体（1）、安装在壳体（1）内的监测装置以及悬浮在蚀刻液中的浮球；所述监测装置包括至少两组弹簧（21）、用于安装弹簧（21）的支架（22）和弹簧限位固定架（23）；每组弹簧（21）呈竖直方向排列，弹簧组与弹簧组之间通过光源连接板（24）连接；所述支架（22）底部设有用于感应弹簧（21）变形并产生位置信号的信号发生部件（25），该信号发生部件（25）连接外部控制设备；所述光源连接板（24）上设有浮绳，浮绳连接悬浮在蚀刻液中的浮球，随着蚀刻液的比重变化，浮球受到的浮力发生变化，使弹簧（21）发生变形，信号发生部件（25）感应弹簧（21）的变形，产生位置信号。