| 主权项 |
一种微机电麦克风，其特征在于：以U型的容腔(1)作为保护壳，容腔(1)内部从上至下依次设置一级传声入口(6)、二级传声入口(7)、隔离板(3)、上固定极板(4)、下固定极板(5)，其中一级传声入口(6)设置于U型容腔(1)最上端的边缘，隔离板(3)为左右对称结构，且隔离板(3)下方对称的每一侧均设置一组上下对应的上固定极板(4)、下固定极板(5)；振动敏感板(2)设置于容腔(1)的内部，且振动敏感板(2)的形状为工字型，工字型的上横梁位于二级传声入口(7)与隔离板(3)中间，工字型的下横梁位于上固定极板(4)与下固定极板(5)的中间；下固定极板(5)与检测电路中前置放大器模块的输入端相连，并使下固定极板(5)虚地；声音通过一级传声入口(6)和二级传声入口(7)过滤后传导至振动敏感板(2)，振动敏感板(2)沿着固定方向发生位移，通过改变工字型的上横梁与下横梁间距来调整振动敏感板(2)与上固定极板(4)、下固定极板(5)的平衡位置，振动敏感板(2)下横梁与上固定极板(4)和下固定极板(5)之间的位移变化转化为差动的电容变化量，通过预加的偏置电压变成电流信号，再由前置放大器放大，最终转为电压信号输出。 |
