ELECTROMAGNETIC RADIATION DETECTION DEVICE COMPRISING AN ENCAPSULATION STRUCTURE WITH IMPROVED MECHANICAL RESISTANCE

摘要

L'invention porte sur un dispositif de détection de rayonnement électromagnétique, comprenant : - un substrat, - une matrice de détecteurs thermiques, disposée sur le substrat, une structure d'encapsulation de détecteurs, comportant une couche d'encapsulation s'étendant autour et au-dessus de la matrice de détecteurs de manière à définir avec le substrat une cavité dans laquelle la matrice de détecteurs est située, dans lequel la couche d'encapsulation comprend au moins une portion, dite portion d'appui interne, située entre deux détecteurs adjacents, qui prend appui directement sur le substrat.