| 发明名称 |
連続的突出部を備えた研磨表面を有する研磨パッド |
| 摘要 |
Polishing pads having a polishing surface with continuous protrusions are described. Methods of fabricating polishing pads having a polishing surface with continuous protrusions are also described. |
| 申请公布号 |
JP6047245(B2) |
申请公布日期 |
2016.12.21 |
| 申请号 |
JP20150552686 |
申请日期 |
2014.01.16 |
| 申请人 |
ネクスプラナー コーポレイション |
发明人 |
ルフェーブル， ポール アンドレ;アリソン， ウィリアム シー．;シンプソン， アレクサンダー ウィリアム;スコット， ダイアン;フアン， ピン;チャーンズ， レスリー エム．;ラインハート， ジェイムズ リチャード;ケープリッチ， ロバート |
| 分类号 |
B24B37/11;B24B37/24;B24B37/26;H01L21/304 |
主分类号 |
B24B37/11 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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