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Vorrichtung zur Beschichtung von auf Transformationstemperatur temperierten plattenförmigen Substraten (1) aus Glas wobei die Vorrichtung mindestens folgende Komponenten aufweist: – mindestens eine als Vakuumkammer ausgebildete Heizkammer (3), die mindestens zwei unabhängig voneinander steuer- oder regelbare Heizsysteme (33, 34) in einer inneren Kammer aufweist, wobei mindestens ein Heizsystem (34) die Oberseite und mindestens ein Heizsystem (33) die Unterseite des Substrats erhitzt, und die Heizsysteme (33, 34) so eingestellt sind, dass sie das Substrat (1) auf Transformationstemperatur erwärmen und derart erhitzen, dass die Unterseite eine höhere Temperatur aufweist als die Oberseite, so dass durch die im Substrat (1) entstehende Spannung einer durch die Schwerkraft bedingten Durchbiegung des Substrates (1) entgegengewirkt wird, – mindestens eine als Vakuumkammer ausgebildete und einer Heizkammer (3) in Transportrichtung nachgeordnete Beschichtungskammer (2) mit mindestens einem beheizbaren Verdampfertiegel mit Beschichtungsmaterial, über den das Substrat hinwegbewegt wird, so dass es von unten beschichtet wird, und – ein Transportsystem (30) für das Substrat (1), das sich durch die Heizkammer (3) erstreckt, und ein Transportsystem (20) für das Substrat (1), das sich durch die Beschichtungskammer (2) erstreckt, wobei beide Transportsysteme (20, 30) mehrere, parallele, axial beabstandete, in Transportrichtung hintereinander und senkrecht zu dieser, angeordnete Wellen (21, 31) aufweisen, wobei jede Welle Außenrollen (213, 313) aufweist, zwischen denen jeweils mindestens eine Innenrolle (214, 314) angeordnet ist. |
