发明名称 円筒マスク作製方法、露光方法、及びパターン形成方法
摘要 A mask comprises a pattern (Pm) on the outer circumferential surface formed in a prescribed axis (J) circumference, the outer circumferential surface includes a partial spherical surface (Ma) which forms part of a spherical surface the central point of which is provided on said axis, and the pattern is provided on the partial spherical surface.
申请公布号 JP6048600(B2) 申请公布日期 2016.12.21
申请号 JP20160017951 申请日期 2016.02.02
申请人 株式会社ニコン 发明人 熊澤 雅人
分类号 G03F7/20;G03F1/00;G03F1/24;G03F1/70 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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