物理量传感器及电子设备

摘要

本发明提供一种物理量传感器及电子设备，其能够提高检测精度等的检测特性。该物理量传感器具备：底基板；可动部，其被配置于设置在底基板的主面上的底基板上；可动电极部，其被设置在可动部上；固定电极部，其被设置在底基板的主面上，且与可动电极部对置配置，固定电极部与被设置在底基板的主面侧的固定电极用配线相连接，可动电极部与被设置在底基板的主面侧的可动电极用配线相连接，在固定电极用配线与可动电极用配线之间设置有屏蔽部。

主权项

一种物理量传感器，其特征在于，具备：基板；可动部，其被支承在所述基板上；可动电极部，其被设置在所述可动部上；固定电极部，其被设置在所述基板的主面上，且与所述可动电极部对置配置；第一凹部以及第二凹部，被设置在所述基板的所述主面上，所述固定电极部与被设置在所述第一凹部的内部的固定电极用配线相连接，所述可动电极部经由所述可动部而与被设置在所述第二凹部的内部的可动电极用配线相连接，在所述固定电极用配线与所述可动电极用配线之间的至少一部分上，设置有第一屏蔽部，所述第一凹部的深度尺寸大于所述固定电极用配线的厚度尺寸，所述第二凹部的深度尺寸大于所述可动电极用配线的厚度尺寸。