ITO刻蚀液配制系统

摘要

本发明涉及一种ITO刻蚀液配制系统，其特征是：包括混配罐、溶解桶和抽料循环泵，混配罐的顶部设有第一进料口，溶解桶的出料口通过抽料管连接混配罐顶部的第二进料口，抽料循环泵的一端通过第一管道连接混配罐的底部，抽料循环泵的出料端分别连接混配罐的第二进料口和第二管道，第二管道的输出端连接过滤灌装设备，在抽料循环泵的出料端设置取样支路，在取样支路上设置取样阀。在所述混配罐的顶部和第二管道的输出端之间连接回流管道，回流管道上设置调节阀。在所述混配罐的中部连接第三管道，第三管道分别连接抽料循环泵的出料端管道和溶解桶。在所述溶解桶的底部安装称重秤。本发明自动化程度高，混配效果好，保证产品精度。

主权项

一种ITO刻蚀液配制系统，其特征是：包括混配罐（1）、溶解桶（2）和抽料循环泵（3），混配罐（1）的顶部设有第一进料口（5），溶解桶（2）的出料口通过抽料管（6）连接混配罐（1）顶部的第二进料口（7），抽料循环泵（3）的一端通过第一管道（8）连接混配罐（1）的底部，抽料循环泵（3）的出料端分别连接混配罐（1）的第二进料口和第二管道（9），第二管道（9）的输出端连接过滤灌装设备，在抽料循环泵（3）的出料端设置取样支路，在取样支路上设置取样阀（10）；在所述混配罐（1）的顶部和第二管道（9）的输出端之间连接回流管道（11），回流管道（11）上设置调节阀（12）。