一种基于超薄硫化物薄膜的湿度传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于超薄硫化物薄膜的湿度传感器及其制备方法。该传感器包括衬底、位于衬底上的湿度敏感层以及镀制于湿度敏感层上的叉指电极。湿度敏感层为二硫化钨薄膜层，二硫化钨薄膜层通过硫化金属钨薄膜制备而成。本发明采用超薄二硫化钨薄膜作为湿度敏感材料，具有大的比表面积和优异的湿敏特性，所制备的电阻型湿度传感器具有结构简单、易于集成、兼容柔性基底、无需加热和功耗低的优点，便于规模化生产。

主权项

一种基于超薄硫化物薄膜的湿度传感器，其特征是，包括：衬底、位于衬底上的湿度敏感层以及镀制于所述湿度敏感层上的叉指电极；所述湿度敏感层为二硫化钨薄膜层，所述二硫化钨薄膜层通过硫化金属钨薄膜制备而成。