一种工件表面变形测定探测头、系统及方法

摘要

本发明提供了一种工件表面变形测定探测头，包括外壳，探针、力传导件、复位弹簧均设于外壳内部，探针的针头露于外壳外部；探针下部与力传导件连接，复位弹簧套设于探针外部，复位弹簧上端为力传导件、下端为外壳的内表面；探针的尾部穿过外壳与电极连接；电极下方设有极距变化式电容位移传感器，电极与极距变化式电容位移传感器之间留有间隙。本发明还提供了一种工件表面变形测定系统及方法。本发明利用接近传感器的工作原理，将工件的物理形变量转化为电容器的电容变化量。根据需要的测定点个数布置探测头，并通过显示器输出每一个点的形变值及形变是否合格的信号。装置结构简单，灵敏性好，分辨力高，稳定性好，响应速度快，适应性强。

主权项

一种工件表面变形测定探测头，其特征在于：包括外壳(30)，探针(10)、力传导件(70)、复位弹簧(80)均设于外壳(30)内部，探针(10)的针头露于外壳(30)外部；探针(10)下部与力传导件(70)连接，复位弹簧(80)套设于探针(10)外部，复位弹簧(80)上端为力传导件(70)，复位弹簧(80)下端为外壳(30)的内表面；探针(10)的尾部穿过外壳(30)与电极(40)连接；电极(40)下方设有极距变化式电容位移传感器(100)，电极(40)与极距变化式电容位移传感器(100)之间留有间隙。