用于分析过程气体的过程气体分析器和方法

摘要

本发明涉及一种对引导进入设备部件(1)的过程气体(2)进行分析的过程气体分析器和方法。光源(7)的光(9)在透射了过程气体(2)后借助检测器(8)进行检测，并且在布置在后方的评估装置(18)中对在过程气体(2)中的吸收进行评估以得出分析结果(20)。在光源(7)和设备部件(1)之间以及在检测器(8)和设备部件(1)之间存在朝向设备部件(1)的内部开放的、由冲洗气体(12)洗涤的腔体或冲洗管道(10，11)。为了实现对由冲洗引起的测量误差的广泛的补偿，冲洗气体(12)的体积流量被周期性地调制，并且根据通过调制引起的、检测到的吸收的变化来确定并从分析结果(20)中移除冲洗气体(12)对分析结果(20)的影响。

主权项

一种用于对引导进入设备部件(1)的过程气体(2)进行分析的过程气体分析器，所述过程气体分析器具有光源(7)，所述光源的光(9)在透射了所述过程气体(2)之后由检测器(8)进行检测，并且在布置在后方的评估装置(18)中对于在所述过程气体(2)中的吸收进行评估以得出分析结果(20)，并且具有冲洗装置，所述冲洗装置在所述光源(7)和所述设备部件(1)之间、以及在所述检测器(8)和所述设备部件(1)之间分别具有朝向所述设备部件(1)的内部开放的、并且由冲洗气体(12)洗涤的腔体(10，11)，其特征在于，所述冲洗装置具有用于对所述冲洗气体(12)的体积流量进行周期性地调制的器件(13，16)，并且所述评估装置(18)设计用于，根据通过调制引起的、检测到的所述吸收的变化来确定所述冲洗气体(12)对所述分析结果(20)的影响，并且将所述影响从所述分析结果(20)中移除。