发明名称 | 一种扩散用的喷淋管 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种扩散用的喷淋管,所述喷淋管的外周设有用于与扩散炉炉管密封连接的球碗,球碗与喷淋管外侧壁之间具有缝隙空间;所述球碗上设有至少1个旁路管,且该旁路管与所述缝隙空间连通。本实用新型可以有效减少甚至排尽炉管非加热部分空隙空间部位的扩散酸性气体,使该部位取而代之地充满氮气,从而可以从源头上减少甚至避免扩散酸性物质的沉积,进而减少甚至避免喷淋管由于腐蚀问题而导致的报废。 | ||
申请公布号 | CN205828413U | 申请公布日期 | 2016.12.21 |
申请号 | CN201620773348.9 | 申请日期 | 2016.07.21 |
申请人 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 发明人 | 徐义胜;韩树果;张春华;衡阳;刑国强 |
分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人 | 陆金星 |
主权项 | 一种扩散用的喷淋管,所述喷淋管的外周设有用于与扩散炉炉管密封连接的球碗(2),球碗与喷淋管外侧壁之间具有缝隙空间;其特征在于:所述球碗上设有至少1个旁路管(4),且该旁路管与所述缝隙空间连通。 | ||
地址 | 215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号 |