プラズマＣＶＤ装置用のプラズマ源およびこのプラズマ源を用いた物品の製造方法

摘要

プラズマＣＶＤ装置用のプラズマ源であって、第１の電極、第２の電極、第３の電極、および第４の電極の４つがこの順に配列された電極群を有し、前記電極群は、交流電源に接続され、前記４つの電極のうちの２つに供給される電圧は、残りの２つの電極に供給される電圧と位相がずれており、隣接する電極の間には、原料ガスが供給される空間が設けられ、隣接する２つの電極のうちの少なくとも一組に印加される電圧は、同位相であることを特徴とするプラズマ源。