放射线图像传感器及其制备方法

摘要

本发明提供一种放射线图像传感器及其制备方法，所述放射线图像传感器包括：基板，用于将可见光转化为电信号；闪烁体层，覆盖于所述基板的表面，用于将X射线转化为可见光；隔阻层，覆盖于所述闪烁体层表面及侧面；以及防水层，覆盖于以覆盖所述隔阻层的表面及侧面，并延伸覆盖于所述基板的部分表面。本发明在光传感器（基板）上采用蒸镀的方式制备闪烁体层，减少了粘胶工序；闪烁体层的封装只需要沉积阻隔层以及防水层两层薄膜，简化了闪烁体的封装结构，并提高了闪烁体层的稳定性以及防水性；通过对基板表面进行等离子体处理，大大提高了闪烁体层与基板的附着力。

主权项

一种放射线图像传感器，其特征在于，包括：基板，用于将可见光转化为电信号；闪烁体层，覆盖于所述基板的表面，用于将X射线转化为可见光；隔阻层，覆盖于所述闪烁体层表面及侧面；防水层，覆盖于以覆盖所述隔阻层的表面及侧面，并延伸覆盖于所述基板的部分表面。