高纯度钛锭、其制造方法及钛溅射靶

摘要

一种钛锭，其为除了添加元素和气体成分以外的纯度为99.99质量％以上的高纯度钛锭，其特征在于，含有合计0.1～100质量ppm的选自S、P或B中的一种以上非金属元素作为添加成分，在同一锭内的上部、中间部、底部的非金属元素的偏差为±200％以内。一种钛锭的制造方法，所述钛锭含有0.1～100质量ppm的非金属元素，其特征在于，在制造除了添加元素和气体成分以外的纯度为99.99质量％以上的高纯度钛锭时，将作为非金属元素的S、P或B以金属间化合物或母合金的形式添加到熔炼的钛中。本发明的课题在于提供高纯度钛，其中，通过添加选自S、P或B中的一种以上非金属元素，减少了锭内及锭间的非金属元素含量的偏差，并且具有均匀的组织且提高了强度。

主权项

一种钛锭，其为除了添加成分和气体成分以外的纯度为99.99质量％以上的高纯度钛锭，其特征在于，含有合计0.1～100质量ppm的选自S、P或B中的一种以上非金属元素作为添加成分，在同一锭内的上部、中间部、底部的非金属元素的偏差为±200％以内，在添加选自S、P或B中的一种以上非金属元素时，以金属间化合物或母合金的形式添加具有2000～18000平方毫米的截面积、厚度为1～10毫米的小片，在电弧熔炼法或电子束(EB)熔炼的熔炼开始时刻，将添加成分的添加量增加至目标组成浓度的3倍浓度，随着接近熔炼结束，将该添加量降低至目标组成浓度的1/3倍浓度。