用于高度集成的光学读出MEMS传感器的系统和方法

摘要

提供了用于高度集成的光学读出MEMS传感器的系统和方法。在一个实施例中，一种用于集成波导光学拾取器传感器的方法包括：将由激光光源产生的激光束发射到在第一基板内单片制作的集成波导光学拾取器中，该集成波导光学拾取器包括光学输入端口、耦合端口和光学输出端口；以及通过测量在光学输出端口处激光束的衰减，检测激光束从耦合端口到与耦合端口分离一定间隙的传感器部件的耦合的量。

主权项

一种用于集成波导光学拾取器(120)传感器的方法，所述方法包括：将由激光光源(126)产生的激光束发射到在第一基板(110)内单片制作的集成波导光学拾取器(120)中，所述集成波导光学拾取器(120)包括光学输入端口(121)、耦合端口(123)和光学输出端口(125)；以及通过测量在光学输出端口(125)处激光束的衰减，检测激光束从耦合端口(123)到与耦合端口(123)分离一定间隙的传感器部件的耦合的量。