一种微管零件的夹持装置及方法

摘要

本发明公开了一种微管零件夹持装置及方法。该装置包括：硅零件(10)、玻璃微管(11)、气路连接件(2)、真空发生装置(3)、测量显微镜(4)、360度转台(7)和三维操作手(8)。本发明通过真空吸附方式对零件进行夹持，并通过夹持器上的微槽对被夹持零件进行限位。利用硅微加工技术加工出微米结构的硅零件，利用微点胶和微装配技术将硅零件与玻璃微管进行装配胶接得到真空夹持头，将真空夹持头与真空发生装置连接后得到真空夹持器。在测量显微镜、360度转台和三维微操作手的配合下，按照设计的夹持方法对微管零件进行夹持。实验证明，本发明能够实现微管零件的快速稳定夹持和高精度定位。另外，本发明结构简单，成本低，操作方便，可应用于微管零件的夹持和装配等领域。

主权项

一种微管零件夹持装置，其特征在于，该装置包括：硅零件(10)、玻璃微管(11)、气路连接件(2)、真空发生装置(3)、测量显微镜(4)、360度转台(7)和三维操作手(8)；其中：所述硅零件(10)为圆片状，其外径与玻璃微管(11)的外径相同，所述硅零件(10)的正面刻有两个槽，第一个槽(13)的长度等于所述硅零件(10)的直径，深度小于硅零件(10)的厚度，第二个槽的长度小于所述硅零件(10)的直径，位于第一个槽的底部中心位置，且厚度方向上贯穿所述硅零件(10)所述第一个槽用于被夹持微管零件(9)的定位；第二个槽(14)作为所述微管零件(9)的吸附孔；所述玻璃微管(11)为细长空心圆柱体状，其外径与所述硅零件(10)的相同；所述硅零件(10)与玻璃微管(11)通过胶粘连在一起形成真空夹持头(1)；所述气路连接件(2)的一端连接真空夹持头(1)，一端连接真空发生装置(3)上的气管(16)；所述测量显微镜(4)具有2自由度的水平载物台(5)和显微相机(6)，显微相机的高度可上下调节；所述360度转台(7)，在水平面内进行360度的旋转运动，该360度转台放置在测量显微镜的水平载物台(5)上；所述三维操作手(8)，在XYZ三个方向进行高精度定位。