一种同时测量相位和古斯‑汉欣位移的方法及装置

摘要

本发明一种同时测量相位和古斯‑汉欣位移的方法及装置，特点是激光束通过偏振分光器后分成两束光TM和TE光，两光束分别通过两个不同驱动频率的声光调制器，产生的两个衍射光进入合光器合成两束光，一束光在光电探测器光敏面上发生干涉形成参考信号；另一束光经过克莱切曼结构后再经过分光器形成两束光，一束光在光电探测器光敏面上发生干涉形成相位测量信号，测量信号和参考信号经带通滤波、相位解调及数据采集和处理后，获得相位的测量值；另一束光经过检偏器，通过调整检偏器先后得到TE和TM光，两光点的位置经数据采集和处理后，得到古斯‑汉欣位移值；本装置能实现对折射率快速变化介质的高精度测量。

主权项

一种同时测量相位和古斯‑汉欣位移的方法，其特征在于：激光束通过偏振分光器后分成TM光和TE光，两光束分别通过两个不同驱动频率的声光调制器，产生的两个+1级衍射光进入合光器合成两束光，一束光在光电探测器光敏面上发生干涉形成相位参考信号；另一束光经过克莱切曼结构后再经过分光器形成两束光，其中：一束光在光电探测器光敏面上发生干涉形成相位测量信号，相位测量信号和参考信号经带通滤波、相位解调及数据采集和处理后，获得相位的测量值；另一束光经过检偏器，通过调整检偏器先后得到TE和TM光，两光点的位置经数据采集和处理后，得到古斯‑汉欣位移测量值。