| 发明名称 | 一种多光源扫描检测方法 | ||
| 摘要 | 本发明属于扫描检测技术领域，公开了一种多光源扫描检测方法，样品台表面呈圆形分布；光源为两个，所述两个光源成线性排列，且与所述样品台的半径重合；所述样品台围绕其圆心以恒定角速度转动；所述样品台以所述恒定角速度转动的同时，所述样品台沿所述光源的排列方向以恒定线速度平移。本发明提高了扫描效率和稳定性，提高了定位精度。 | ||
| 申请公布号 | CN106248056A | 申请公布日期 | 2016.12.21 |
| 申请号 | CN201610688833.0 | 申请日期 | 2016.08.18 |
| 申请人 | 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 | 发明人 | 陈鲁;刘虹遥;张朝前;杨乐;马砚忠;路鑫超 |
| 分类号 | G01C11/02(2006.01)I;G01N21/86(2006.01)I | 主分类号 | G01C11/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人 | 房德权 |
| 主权项 | 一种多光源扫描检测方法，其特征在于，样品台表面呈圆形分布；光源为两个，所述两个光源成线性排列，且与所述样品台的半径重合；所述样品台围绕其圆心以恒定角速度转动；所述样品台以所述恒定角速度转动的同时，所述样品台沿所述光源的排列方向以恒定线速度平移。 | ||
| 地址 | 314006 浙江省嘉兴市南湖区凌公塘路3339号(嘉兴科技城) | ||