Vakuum-Drehdurchführung und Vakuum-Substratbehandlungsanlage

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vakuum-Drehdurchführung mit einem feststehenden Außenteil und einem in dem Außenteil drehbar gelagerten Innenteil sowie einem zwischen Außenteil und Innenteil angeordneten ersten Rotationslager, das zumindest axiale Kräfte aufnehmen kann, wobei zwischen Außenteil und Innenteil ein zweites Rotationslager, das zumindest radiale Kräfte aufnehmen kann, mit einem axialen Abstand zu dem ersten Rotationslager beweglich so angeordnet, dass zwischen dem ersten Rotationslager und dem zweiten Rotationslager ein Winkelversatz ermöglicht ist.