Surface Plasmonic Sensor Chip And Manufacturing Method for The Same

摘要

표면 플라즈모닉 센서 칩이 제공된다. 상기 표면 플라즈모닉 센서 칩은 실리콘 산화물 박막, 상기 실리콘 산화물 박막 상부에 배치되는 금속 박막, 상기 금속 박막 상부에 배치되는 감지막, 상기 감지막 상부에 배치되고 상기 감지막의 중앙 부분을 제외한 둘레에 형성되는 가스 투과 접착제 및 상기 가스 투과 접착제의 상부에 배치되는 지지기판을 포함한다.