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Piezoelektrisches Bauelement (10D, 10D'), umfassend: – einen Träger (30B), – einen piezoelektrischen Dünnfilm (10), der gegenüberliegende Hauptflächen umfasst und von dem Träger (30B) auf einer Trägerseite (12) des piezoelektrischen Dünnfilms (10) getragen wird, – IDT-Elektroden (60), die auf der Trägerseite (12) des piezoelektrischen Dünnfilms (10) ausgebildet sind, um eine IDT-Elektroden-Region auf der Trägerseite des piezoelektrischen Dünnfilms (10) zu definieren, und – einen Raum (80), der über der IDT-Elektroden-Region des piezoelektrischen Dünnfilms (10) angeordnet ist, der derart auf der Trägerseite angeordnet ist, daß die IDT-Elektroden (60) nicht in Kontakt mit dem Träger (30B) stehen, wobei – der piezoelektrische Dünnfilm (10) derart konfiguriert ist, daß Vibrationsverschiebungen auf beiden der gegenüberliegenden Hauptflächen des piezoelektrischen Dünnfilms (10) erzeugt werden, wenn eine Ladung auf die IDT-Elektroden (60) angewandt wird, und – die IDT-Elektroden (60) nur auf der Trägerseite (12) des piezoelektrischen Dünnfilms (10) derart angeordnet sind, daß keine IDT-Elektroden (60) auf einer der Trägerseite gegenüberliegenden Seite des piezoelektrischen Dünnfilms (10) angeordnet sind. |
