一种直线电机大行程位移精度精密控制方法

摘要

一种直线电机大行程位移精度精密控制方法，该方法包括以下步骤：（1）研究直线电机工作原理，建立直线电机数学模型；（2）在建立直线电机数学模型的基础上，针对系统的动态品质要求进行内膜控制器设计；（3）面对实际控制对象模型误差及驱动器饱和效应对控制器的约束，在内模控制的基础上对控制器结构加以改进建立模型状态反馈控制器；（4）建立直线电机精密位移移动平台轨迹跟踪控制器。本发明应用于直线电机驱动控制系统，在建立直线电机动态数学模型及设计多个控制器基础上，克服了控制直驱伺服系统的非线性、不确定性和动态复杂性，实现了大行程下位移精度精密控制，为微纳级半导体光电特性三维检测仪等大行程、高精度检测提供精准移动平台。

主权项

一种直线电机大行程位移精度精密控制方法，包括以下步骤，步骤1，研究和分析直线电机工作原理，建立直线电机数学模型；步骤2，在建立直线电机数学模型的基础上，建立内膜控制器，改善系统的动态性能和品质；步骤3，在内模控制的基础上对控制器结构加以改进建立模型状态反馈控制器，提高系统动态响应和抗饱和性能；步骤4，建立直线电机精密位移移动平台轨迹跟踪控制器，调节控制器参数，使其达到预期的控制效果，其特征在于，直线电机精密位移移动平台轨迹跟踪控制器中，轨迹规划模块用于速度、加速度和平台位移规划；反馈校正采用PID/MSF级联控制器。