| 摘要 |
선형 모터 스테이지가 개시되며, 상기 선형 모터 스테이지는 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트 상에서 이동하는 자석 트랙; 상기 자석 트랙과의 사이에 형성되는 전자기력에 의해 상기 자석 트랙의 일면 상에서 이동되는 이동자; 및 상기 자석 트랙의 일측 및 타측 각각에 배치되어, 상기 이동자의 이동에 의해 상기 베이스 플레이트에 작용하는 반발력을 감쇠시키는 한 쌍의 제1 및 제2 반발력 보상부를 포함하되, 상기 제1 반발력 보상부는 상기 베이스 플레이트 상에 이동 가능한 상태로 구비되며, 상기 자석 트랙의 일측에 배치되는 제1 와전류 감쇠기 및 상기 제1 와전류 감쇠기를 상기 베이스 플레이트와 연결하는 제1 탄성부재를 포함하고, 상기 제2 반발력 보상부는 상기 베이스 플레이트 상에 이동 가능한 상태로 구비되며, 상기 자석 트랙의 타측에 배치되는 제2 와전류 감쇠기 및 제2 와전류 감쇠기를 상기 베이스 플레이트와 연결하는 제2 탄성부재를 포함한다. |
