| 摘要 |
본 발명은 브러쉬 세정 장치에 관한 것으로, 원형 디스크 형상의 기판이 자전하도록 상기 기판을 제1회전방향으로 회전시키는 2개 이상의 구동 지지체와; 원기둥 형태로 형성되어 상기 기판의 판면에 접촉한 상태로 제2회전방향으로 회전하면서 접촉 방식으로 상기 기판의 판면을 세정하는 세정 브러쉬와; 상기 기판의 가장자리에 접촉하면서 상기 기판의 회전에 의하여 회전 구동되되, 상기 세정 브러쉬가 상기 기판을 밀어내는 제1방향과 마주보는 제1영역에 배치되는 감지 지지체를; 포함하여 구성되어, 감지 지지체는 기판의 가장자리에 의해 밀리는 힘이 작용한 상태로 마찰 접촉하므로, 기판의 회전과 감지 지지체의 회전이 서로 헛돌지 않고 맞물린 상태로 회전하여 기판의 회전수를 보다 정확하게 측정할 수 있는 브러쉬 세정 장치를 제공한다. |
