晶圆质量检测系统以及晶圆质量检测方法

摘要

一种晶圆质量检测系统及晶圆质量检测方法，包括：风险控制派货模块、生产报告模块和质量检测监控模块；其中，风险控制派货模块用于对预定批次的晶圆作标记，并根据每台生产设备的抽检模式对该生产设备进行派货安排或发出警示派货要求；生产报告模块用于将设备抽检模式信息发送给风险控制派货模块，并将所有生产设备的生产信息实时传送给质量检测监控模块；质量检测监控模块用于实时显示每台生产设备上的晶圆投入情况以及每台设备中作标记的晶圆的信息，并计算出每台生产设备的风险批次数。以此保证每台生产设备的质量抽检频度，从而保证产品的良率。

主权项

一种晶圆质量检测系统，包括：风险控制派货模块、生产报告模块和质量检测监控模块；其中，所述风险控制派货模块用于对预定批次的晶圆作标记，其中，作标记的晶圆为标记批次晶圆，未作标记的晶圆为未标记批次晶圆，并根据每台生产设备的抽检模式对该生产设备进行派货安排；所述生产报告模块用于将设备抽检模式信息发送给所述风险控制派货模块，并将所有生产设备的生产信息实时传送给所述质量检测监控模块；所述质量检测监控模块用于实时显示每台生产设备上的晶圆投入情况以及每台设备中作标记的晶圆的信息，并计算出每台生产设备的风险批次数，当所述风险批次数超过上线规格时，所述风险控制派货模块会发出警示派货要求；所述抽检模式包括：常规抽检模式、异常抽检模式以及保养后抽检模式。