一种表面粗糙度测量装置及其测量工作台

摘要

本发明的一种表面粗糙度测量装置，包括测量机构和测量工作台，测量工作台由上下两层台架构成，每层台架均包括直线导向移动副，直线导向移动副包括定导轨和气浮导轨，气浮导轨由上气浮块、与上气浮块底部两侧固连的两个侧气浮块以及分别与两个侧气浮块底部固连并相向延伸的底气浮块构成，气浮导轨的内表面由各气浮块的出气面构成，出气面与定导轨正对的位置上设有出气孔，各气浮块的出气孔在气浮导轨内部通过气体通道相互连通并共用一个进气孔；同时本发明还提供一种测量工作台。本发明构成测量工作台的气浮导轨可沿定导轨无摩擦运动，解决了现有技术中测量工作台响应速度慢、移动速度低且控制精度低的问题。

主权项

一种表面粗糙度测量装置，包括测量机构和用于驱动工件移动的测量工作台，其特征在于：所述测量工作台包括上下两层台架，每层所述台架均包括直线导向移动副，所述直线导向移动副包括定导轨和与所述定导轨导向配合的气浮导轨，气浮导轨沿定导轨无摩擦运动，所述气浮导轨由上气浮块、与所述上气浮块底部两侧密封固连的两个侧气浮块以及分别与所述两个侧气浮块底部密封固连并相向延伸的底气浮块构成，所述气浮导轨的内表面由各所述气浮块的出气面构成，所述出气面与所述定导轨正对的位置上设有出气孔，各气浮块的出气孔在所述气浮导轨内部通过气体通道相互连通并共用一个进气孔，通过一个进气孔对上气浮块、两个侧气浮块、底气浮块各气浮块统一供气。