| 发明名称 | 一种用于运动台误差校准的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种用于运动台误差校准的方法，其特征在于，包括：步骤一：利用干涉仪于第一起始位置以一定步长测量所述运动台的反射镜面的面形，获得第一组面形数据，所述步长为所述干涉仪两轴的间距；步骤二：重复执行步骤一，每次起始位置与前一次起始位置的间距大于零且小于所述步长，获得多组面形数据，共同组合得到所述运动台的反射镜面的完整面形数据；步骤三、采用插值处理所述完整面形数据，将插值后的面形结果与所述完整面形数据相减得到面形残差；步骤四、对所述面形残差进行滤波获得一最终面形数据；步骤五、利用所述最终面形数据，在运动台控制系统进行伺服控制时，提前补偿反射镜面型数据。 | ||
| 申请公布号 | CN103453847B | 申请公布日期 | 2016.12.14 |
| 申请号 | CN201210181490.0 | 申请日期 | 2012.06.05 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 毛方林;李煜芝;林彬 |
| 分类号 | G01B11/24(2006.01)I;G01B11/30(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人 | 王光辉 |
| 主权项 | 一种用于运动台误差校准的方法，其特征在于，包括：步骤一：利用干涉仪于第一起始位置以一定步长测量所述运动台的反射镜面的面形，获得第一组面形数据，所述步长为所述干涉仪两轴的间距；步骤二：重复执行步骤一，每次起始位置与前一次起始位置的间距大于零且小于所述步长，获得多组面形数据，共同组合得到所述运动台的反射镜面的完整面形数据；步骤三、采用插值处理所述完整面形数据，将插值后的面形结果与所述完整面形数据相减得到面形残差；步骤四、对所述面形残差进行滤波获得一最终面形数据；步骤五、利用所述最终面形数据，在运动台控制系统进行伺服控制时，提前补偿反射镜面型数据。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 | ||